DD马达在光学检测中的应用

       近年来，在半导体、光伏行业中，力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中，大部分运动要求都是点到点，即运动过程并非重点关注项，而是着重关注到位精度，因此对电机的重复精度提出了高要求。

       此类应用普遍都要求电机的重复精度在±1~±2角秒之间（1角秒=1/3600度），较少关注电机转动时的速度波动情况，对于客户来说只要到位精度准确，便基本不影响应用。

“客户需求”

       然而，有些特殊的应用场景却对电机提出了不一样的要求。椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。通常使用双电机运行，对位置轻微波动十分敏感，因此它对电机的速度波动要求非常高。

       当电机运行在1000rpm左右时，电机的速度波动率需控制在千分之一至万分之一以内。此外，该应用对电机的轴跳精度要求也较高，通常要求电机的轴跳在5um以内。

“特性”

       力矩电机是无铁芯无刷电机，不会产生任何齿槽扭矩，从而可以实现平滑运动以及较低的速度脉动。独特的绕组设计使其拥有高扭矩密度。

1、电机采用无铁芯设计、无齿槽扭矩，低速度波动

2、集成高精密轴承，标准品轴向径向端跳可低至10μm（经过特殊定制可达5μm）

3、内置高精度光栅编码器，电机重复精度可达±3arcsec

4、中孔设计，12mm~25mm，方便客户走线以及布局光学反馈设备

“更多应用”

       可以依据不同客户的不同需求定制专业的有针对性的全套解决方案，研发出多款定制型号。

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