东莞市高工智能传动股份有限公司
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DD马达在光学检测中的应用

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作者:高工来源:高工

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       近年来,在半导体、光伏行业中,力矩电机得到了越来越广泛的推广和应用。在这些应用中,大部分运动要求都是点到点,即运动过程并非重点关注项,而是着重关注到位精度,因此对电机的重复精度提出了高要求。

       此类应用普遍都要求电机的重复精度在±1~±2角秒之间(1角秒=1/3600度),较少关注电机转动时的速度波动情况,对于客户来说只要到位精度准确,便基本不影响应用。

“客户需求”

       然而,有些特殊的应用场景却对电机提出了不一样的要求。椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。通常使用双电机运行,对位置轻微波动十分敏感,因此它对电机的速度波动要求非常高。

       当电机运行在1000rpm左右时,电机的速度波动率需控制在千分之一至万分之一以内。此外,该应用对电机的轴跳精度要求也较高,通常要求电机的轴跳在5um以内。

“特性”

       力矩电机是无铁芯无刷电机,不会产生任何齿槽扭矩,从而可以实现平滑运动以及较低的速度脉动。独特的绕组设计使其拥有高扭矩密度。

1、电机采用无铁芯设计、无齿槽扭矩,低速度波动

2、集成高精密轴承,标准品轴向径向端跳可低至10μm(经过特殊定制可达5μm)

3、内置高精度光栅编码器,电机重复精度可达±3arcsec

4、中孔设计,12mm~25mm,方便客户走线以及布局光学反馈设备

“更多应用”

       可以依据不同客户的不同需求定制专业的有针对性的全套解决方案,研发出多款定制型号。

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