东莞市高工智能传动股份有限公司
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无铁芯直线电机在半导体制造业的应用

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作者:高工来源:高工

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无铁芯直线电机在半导体制造业的应用

       伴随半导体在计算机、互联网有、手机等各领域的应用,我们进入了大数据和人工智能的新时代。

然而,半导体组件的制造是一个非常复杂的过程,它需要配套纳米级芯片制程关键量测检测设备,提升良率此外,高端芯片检测、量测设备需要在高真空环境下长期保持高精度定位,以防止制造过程中的任何颗粒污染或不需要的化学反应,这对真空电机的要求极高。

关键挑战——释气

       在真空环境中工作的主要挑战之一是“释气”,这是真空应用中的一个关键因素。释气是指通过蒸发、解吸或渗入将已溶解、吸收或捕获的气体释放到真空环境中,进而影响设备腔体的真空环境。这意味着随着时间的流逝,释气持续发生,所以必须有效地提高抽速以保持一定的真空度。上外,在释气过程中释气产物可能会凝结在表面上造成污染。

       此外,为了满足真空需求以用高无尘洁净等级,达到最大限度地减少污染、清洁电机和运输前的双重真空包装的目的,使用真空电机的搬送、运送、包装等流程都有着特殊的要求,包括使用适用于真空的材料、工具和设备等。

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